催化燃烧工艺流程可分为三种：预热式是催化燃烧的基本的流程形式，有机废气温度在100℃以下、浓度也较低时，热量不能自给，因此在进入反应器前需要在预热室加热升温。一般选用煤气或电加热将废气升温至催化反应所需的起燃温度;焚烧净化后的气体在热交换器内与未处理的废气进行热交换，以回收部分热量。
    有机废气温度高且有机物含量较高，一般只需要在催化燃烧反应器中设置电加热器供起燃时运用，通过热交换器回收部分净化气体所产生的热量，正常操作下就能够维持热平衡，不需要补充热量。
当有机废气的流量大、浓度低、温度低、选用催化燃烧需消耗大量的燃料时，可先选用吸附手段将有机废气吸附于吸附剂上并进行浓缩，然后通过热空气吹扫，使有机废气脱附成为高浓度有机废气(可浓缩10倍以上)后再进行催化燃烧。无需添加热源以维持正常运转。
    催化燃烧设备首要由活性炭吸附箱、阻火器、热交换器，催化反应床，风机这几个首要部件组成。与直接燃烧比较，催化燃烧温度较低，焚烧比较完全。催化燃烧用的是外表具有贵金属和金属氧化物的催化剂，将有机污染物的废气在催化剂铂、钯的效果下，能够在较低的温度下将废气中的有机污染物氧化成二氧化碳和水。催化剂的加入并不能改动原有的化学平衡，所改动的仅是化学反应的速度，而在反应前后，催化剂本身的性质并不发生变化。
    催化燃烧设备的流程。进入催化燃烧装置的气体首要通过预处理，除去粉尘、液滴及有害组分，避免催化床层的阻塞和催化剂的中毒。进行催化床层的气体温度要到达所用催化剂的起燃温度，催化反应才能进行。因此对于低 于起燃温度的进气，进行预热使其到达起燃温度。